Model ZDF-62B5 mürəkkəb vakuum ölçən cihaz 2 aşağı vakuum ölçmə qurğusundan və 1 dəst yüksək vakuum ölçmə qurğusundan ibarətdir. Ölçmə (1.0 × 10E5Pa) əldə etmək üçün bir vahid müqavimət göstəricisi (RG 2) istifadə olunur~1.0 × 10E-7Pa) müstəqil olaraq, ionlaşdırıcı ölçü cihazı ilə birləşən müqavimət göstəricisi (RG1) vahidi, mürəkkəb vahid olaraq, davamlı nəzarət və ölçmə əldə etməkdir (1 × 10E5~1 × 10E-7Pa).